1、多孔質SiO2浸潤法
用氧分解SiCl4原料，制成多孔質二氧化硅基體，再將該基體浸入到需要摻雜的氧化物的鹽溶液中，干燥后，再加熱使其玻璃化而透明，稱為摻雜石英玻璃。該摻雜方法多用于制造塊狀或異形摻雜石英玻璃。
2、溶膠-凝膠摻雜法
以硅酸乙酯為原料，將硅酸乙酯、乙醇和水混合后，加入摻雜劑的氧化物鹽類，使其變?yōu)榈幕旌弦?，將該混合液?jīng)水解、凝膠化、收縮固化，成為均勻的膠體，在1100℃下加熱該膠體，從而得到均勻的摻雜石英玻璃。該方法用于塊狀摻雜石英玻璃。
3、氣相沉積工藝
以SiCl4和摻雜物的低沸點化合物為原料，在一定蒸氣壓下，用氫氣分別對上述液體原料鼓泡帶料，使氣相混合料從燃燒器中心成霧狀噴出，在高溫下水解、熔化成均勻的SiO2-MxOy或多元組分玻璃，這種摻雜方法多用于制造管或棒狀摻雜石英玻璃，如光導纖維預制棒和低膨脹石英玻璃等。
4、粉體摻雜
即直接把要摻雜的氧化物和SiO2粉料攪拌混勻后熔化成石英玻璃。用這種摻雜方法制造出的石英玻璃微觀上摻雜不均勻，優(yōu)點節(jié)省人力物力，更為可取的是不污染環(huán)境，當摻雜量少或對玻璃的均勻性要求不太高時，此方法當屬首選。
5、對SiO2粉料進行液體摻雜
將要摻雜的氧化物的鹽類化合物用去離子水溶解，與SiO2粉料攪拌均勻，再將原料干燥煅燒，熔制成石英玻璃。該摻雜方法摻雜均勻，但最大的缺點是，在原料干燥煅燒時，由于摻雜的鹽類分解成氧化物，會產(chǎn)生有害氣體污染環(huán)境，因此，煅燒設備上應安裝廢氣回收裝置，對廢氣進行回收、分解。
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