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玻璃磁控濺射鍍膜的反應(yīng)氣體有哪些？
作者:奧固鴻已有:N多人關(guān)注
為了產(chǎn)生氧化物、氮化物、硫化物和碳化物膜層，在進(jìn)行濺射時(shí)，濺射室分別加入氧氣、氮?dú)?、硫化氫、甲烷等氣體，純金屬靶材濺射出來的原子與這些氣體進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，生成氧化物或氮化物、硫化物、碳化物，然后沉積在基片表面而形成氧化物、氮化物、硫化物或碳化物膜層。這些氣體稱為反應(yīng)氣體。工業(yè)生產(chǎn)制備氧化物、氮化物的膜層較多，所以常用的反應(yīng)氣體多為氧氣和氮?dú)狻?br />
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